Imec installeert meest geavanceerde chipmachine ter wereld in Leuven

Onderzoekscentrum imec is in zijn cleanroom gestart met de installatie van 's werelds meest geavanceerde lithografietoestel – de zogenaamde High NA EUV-machine van ASML. Hiermee is imec als chiplabo van de wereld klaar om de chipindustrie de komende jaren richting het ångström‑tijdperk te loodsen en zo de volgende golf van AI‑innovatie mogelijk te maken.

Schaal van atoomafstanden

Smartphones, computers en AI-systemen worden almaar krachtiger omdat de bouwstenen van chips steeds kleiner worden. Toen imec in 1984 werd opgericht, werden de afmetingen van de kleinste structuren op een computerchip nog uitgedrukt in micrometers (een duizendste van een millimeter). Vandaag zitten we in het nanometer-tijdperk (een duizendste van een micrometer) en heeft imec een routekaart uitgetekend om de chipindustrie de komende jaren richting ångström‑dimensies te helpen bewegen. Een ångström is nog eens tien keer kleiner dan een nanometer en bevindt zich op de schaal van atoomafstanden. 

Lithografie speelt in die schaalverkleining een cruciale rol: in dit proces worden miljarden minuscule patronen tegelijk op een siliciumplaat 'geprint' met licht. Vandaag gebeurt dat met EUV‑lithografie, waarbij zeer fijne structuren aangebracht worden met behulp van extreem ultraviolet licht. De resolutie van die patronen hangt af van twee factoren: de golflengte van dat EUV-licht (13.5 nanometer) en de numerieke apertuur (NA) – een maat voor hoe de lenzen in het toestel het EUV-licht opvangen en focussen. Hoe hoger die NA, hoe scherper de details kunnen worden gemaakt.

The next big thing

Door de optica radicaal te herdenken, ontwikkelde ASML een nieuwe generatie EUV‑machines met een hogere NA. High NA EUV is het ingenieus samenspel van extreem krachtige lasers om EUV‑licht op te wekken, perfect gepolijste spiegels om het licht met ongeziene precisie te weerkaatsen en andere grensverleggende technologieën. De machine werd sinds 2024 verder op punt gesteld in het gezamenlijke High NA EUV‑lab van ASML en imec in Veldhoven. Nu is de high NA EUV-technologie klaar om in Leuven de volgende fase in te gaan.

Het toestel, dat zo groot is als een stadsbus en 150 ton weegt, wordt in verschillende modules getransporteerd. De eerste module werd deze week van Veldhoven naar Leuven gebracht en wordt vandaag de cleanroom ingerold. Dat gebeurt in het bijzijn van Vlaams Minister‑President Matthias Diependaele, voormalig technisch directeur bij ASML Martin van den Brink en imec‑CEO Luc Van den hove. 

Luc Van den hove, CEO van imec: "Vandaag zetten we niet zomaar een toestel neer; we openen een nieuw hoofdstuk in de digitale revolutie. High NA EUV-lithografie zal essentieel zijn om de chipindustrie het ångström-tijdperk in te leiden. Die ultrakleine dimensies zijn cruciaal om de AI-toepassingen van de toekomst mogelijk te maken. We zijn dan ook bijzonder trots dat imec hierin een voortrekkersrol kan spelen."

"De installatie bij imec is een belangrijke stap richting het ångström-tijdperk", zegt Christophe Fouquet, CEO van ASML. "Samen versnellen we de verdere ontwikkeling en inzetbaarheid van High NA EUV voor de volgende generaties geavanceerde geheugen‑ en rekenchips."

Eerste plek in Europa 

Leuven wordt de eerste plek in Europa waar een High NA EUV-machine wordt ingezet in een productielijn. De installatie van deze chipproductiemachine kadert in de strategische samenwerking tussen imec en ASML, en werd mede gefinancierd door de Vlaamse overheid, de Nederlandse overheid, en Europa (door de Chips Joint Undertaking). Luc Van den hove: "Als essentieel onderdeel van de NanoIC pilootlijn zal het toestel de komende decennia Europa in staat stellen om een belangrijke rol te spelen in het wereldwijd chip-ecosysteem."

In de cleanroom van imec komt het wereldwijde ecosysteem van chipfabrikanten, toestel- en materiaalleveranciers, en experten in metrologie samen om de volgende generatie chips te ontwikkelen. Imec en zijn partners zullen er nu directe toegang krijgen tot het meest geavanceerde High NA EUV-lithografietoestel en tot een groot aantal complementaire toestellen die al eerder in de cleanroom werden geïnstalleerd.

"Overal ter wereld wordt vandaag duidelijk dat artificiële intelligentie en halfgeleiders de ruggengraat vormen van onze economische welvaart, onze veiligheid en onze strategische autonomie," zegt Vlaams minister-president Matthias Diependaele. "Wie richting wil geven aan die toekomst, moet durven investeren in kennis, vertrouwen, schaal en samenwerking. Met de installatie van deze High NA EUV‑machine bevestigt imec zijn unieke rol als spil van het wereldwijde chip-ecosysteem. Hier in Vlaanderen bouwen we niet alleen technologie van wereldklasse, maar ook de capaciteit om als Europa mee het tempo en de richting van AI‑innovatie te bepalen."